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真空鍍膜機(jī)用中頻電源為什么真空室發(fā)黑?

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真空鍍膜機(jī)用中頻電源為什么真空室發(fā)黑?

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2023-05-29

真空鍍膜機(jī)是工業(yè)生產(chǎn)中常用的一種設(shè)備。其中的中頻電源是鍍膜設(shè)備中重要的組成部分,通常用于推動(dòng)鍍膜的原料進(jìn)行離子反應(yīng)。然而,真空室在使用中頻電源過(guò)程中可能會(huì)發(fā)生黑化現(xiàn)象。這是為什么呢?

我們需要了解中頻電源鍍膜的工作原理。在工作過(guò)程中,中頻電源通過(guò)引導(dǎo)磁場(chǎng)產(chǎn)生電流,在真空室內(nèi)與原料發(fā)生離子反應(yīng)。這個(gè)過(guò)程中,產(chǎn)生的等離子體會(huì)和真空室的內(nèi)壁反應(yīng),形成一層黑色的氧化物。這層氧化物的形成既影響了真空室與等離子體的反應(yīng)效果,同時(shí)也會(huì)影響薄膜的均勻性和質(zhì)量。所以,我們稱這個(gè)現(xiàn)象為黑化。

該問(wèn)題如何解決呢?首先,需要升級(jí)真空鍍膜機(jī)的設(shè)備選項(xiàng)。將真空室內(nèi)表面涂上特殊的抗反應(yīng)材料可以有效防止氧化反應(yīng)的發(fā)生,從而降低黑化現(xiàn)象的發(fā)生率。此外,在中頻電源工作前,經(jīng)過(guò)清洗真空室應(yīng)盡量減少真空室內(nèi)的雜質(zhì)物。增加氧氣或氫氣的供應(yīng)量可以促進(jìn)等離子體與雜質(zhì)反應(yīng),幫助凈化真空室。另外,是增大中頻電源輸出功率,提高質(zhì)子反應(yīng)效率,縮短鍍膜時(shí)間,減輕金屬反應(yīng)與環(huán)境反應(yīng),從而減少黑化現(xiàn)象。

在使用真空鍍膜機(jī)過(guò)程中,黑化是一個(gè)常見卻困擾人的問(wèn)題。我們應(yīng)該在選購(gòu)設(shè)備時(shí)選購(gòu)高質(zhì)量的真空鍍膜設(shè)備,升級(jí)設(shè)備選項(xiàng)來(lái)應(yīng)對(duì)黑化問(wèn)題。同時(shí),增大中頻電源輸出功率和增加氧氣或氫氣的供應(yīng)量,也可以有效解決黑化問(wèn)題,提高薄膜鍍層的質(zhì)量和均勻性。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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