作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2023-10-25
HIPIMS電源屬于高功率脈沖磁控濺射電源的一種,通過(guò)降低占空比到10%,在相同功率情況下,可以使得磁控濺射峰值電流大幅度的增加。在鍍膜工藝中,往往希望得到高的峰值電流和靶電壓,但這兩者往往是矛盾的,需要在工藝中綜合考慮。HIPIMS電源可調(diào)參數(shù)多,即使在相同占空比下,針對(duì)不同靶材,其脈沖寬度,占空比,靶電壓與峰值電流都會(huì)出現(xiàn)不同的特性,增加工藝控制手段的同時(shí),也增加了優(yōu)化難度。隨著靶電壓的增加,峰值電流密度也會(huì)增加,但是在不同電壓段,峰值電流變化趨勢(shì)也不同。在長(zhǎng)脈寬下,金屬放電進(jìn)入自持放電模式,會(huì)降低濺射速度,但可以增加離子種類和數(shù)量,需要根據(jù)工藝要求擇優(yōu)選擇。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
鍍膜電源產(chǎn)品
鍍膜電源研發(fā)
服務(wù)支持
新聞中心
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
公司地址
咨詢電話
備案號(hào):粵ICP備2021088173號(hào)