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直流磁控濺射電源工作原理

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直流磁控濺射電源工作原理

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2023-11-07

直流磁控濺射電源是一種用于提供濺射過程中所需電能的設(shè)備。它的工作原理是通過基本的直流電路,將交流電轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的直流電,然后通過磁控技術(shù)調(diào)整電流和電壓的大小,以滿足濺射過程的要求。直流磁控濺射電源的主要組成部分包括整流電路、濾波電路、穩(wěn)壓電路和磁控電路。首先,交流電經(jīng)過整流電路轉(zhuǎn)換為直流電,并通過濾波電路平滑輸出電壓。然后,穩(wěn)壓電路對(duì)電壓進(jìn)行調(diào)節(jié),以保持穩(wěn)定的輸出。最后,磁控電路調(diào)整電流和電壓的大小,以適應(yīng)不同的濺射需求。直流磁控濺射電源具有高效、穩(wěn)定、可靠的特點(diǎn),并廣泛應(yīng)用于表面涂裝、薄膜制備、材料加工等領(lǐng)域。通過掌握直流磁控濺射電源的工作原理,可以更好地理解和應(yīng)用這一技術(shù),提高工作效率,推動(dòng)先進(jìn)材料制備技術(shù)的發(fā)展。


  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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