作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-04-01
單極性脈沖磁控濺射電源的型號參數(shù)因不同制造商和產(chǎn)品系列而異。以下是一些常見的單極性脈沖磁控濺射電源型號參數(shù)介紹:
1. 輸出功率:表示電源能夠提供的最大功率,通常以千瓦(kW)為單位。不同型號的單極性脈沖磁控濺射電源具有不同的輸出功率范圍,以滿足不同規(guī)模和應(yīng)用的需求。
2. 輸出電壓:指電源在工作時能夠提供的電壓范圍。這個參數(shù)對于確定濺射過程中的電場強(qiáng)度和離子能量很重要,通常以伏特(V)為單位表示。
3. 輸出電流:表示電源在工作時能夠提供的最大電流,以安培(A)為單位。輸出電流的大小直接影響到濺射速率和沉積效果。
4. 脈沖頻率:指電源輸出的脈沖信號的頻率,通常以赫茲(Hz)為單位。脈沖頻率的選擇對于控制濺射過程中的離子能量和沉積速率至關(guān)重要。
5. 脈沖寬度:表示每個脈沖信號的持續(xù)時間,通常以微秒(μs)為單位。脈沖寬度的調(diào)整可以影響到濺射過程中的平均功率和能量分布。
6. 負(fù)載匹配:一些先進(jìn)的單極性脈沖磁控濺射電源具備負(fù)載匹配功能,可以自動或手動調(diào)整輸出阻抗,以實(shí)現(xiàn)與負(fù)載的最佳匹配,確保功率的最大化傳輸和減小反射損耗。
7. 控制方式:描述電源的控制方式和接口類型,例如手動控制、遠(yuǎn)程控制或計算機(jī)控制等。先進(jìn)的控制方式可以提供更靈活和精確的濺射過程控制。
請注意,具體的型號參數(shù)可能因不同制造商和產(chǎn)品而有所不同。在選擇單極性脈沖磁控濺射電源時,建議參考制造商提供的技術(shù)規(guī)格表、用戶手冊或與銷售代表聯(lián)系,以獲取最準(zhǔn)確和詳細(xì)的參數(shù)信息。同時,根據(jù)具體的應(yīng)用需求和工藝要求,選擇適合的型號和參數(shù)配置。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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