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首頁 新聞中心 行業(yè)新聞 單極性脈沖偏壓電源在什么情況下會(huì)釋放能量?

單極性脈沖偏壓電源在什么情況下會(huì)釋放能量?

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2024-05-17

  單極性脈沖偏壓電源在特定的情況下會(huì)釋放能量,主要是當(dāng)電源產(chǎn)生脈沖電壓并將其施加到工件或電極上時(shí)。以下是具體的情況說明:

  脈沖產(chǎn)生與施加:當(dāng)單極性脈沖偏壓電源工作時(shí),它會(huì)根據(jù)預(yù)設(shè)的參數(shù)(如電壓幅度、脈沖頻率、占空比等)產(chǎn)生脈沖電壓。這些脈沖電壓隨后被施加到工件或電極上,用于驅(qū)動(dòng)或控制相關(guān)的工藝過程。

  離子加速與能量傳遞:在真空環(huán)境或類似條件下,單極性脈沖偏壓電源提供的脈沖電壓可以形成一個(gè)加速電場(chǎng)。這個(gè)電場(chǎng)能夠使真空室中的離子獲得能量并加速,進(jìn)而轟擊工件表面。在轟擊過程中,離子會(huì)將其動(dòng)量傳遞給工件表面,從而實(shí)現(xiàn)薄膜沉積、表面清潔或改性等工藝目的。

  中和效應(yīng):?jiǎn)螛O性脈沖偏壓電源在電壓中斷期間會(huì)提供一個(gè)特殊的條件,即工件表面的電荷有機(jī)會(huì)被中和。這是因?yàn)楫?dāng)脈沖電壓停止施加時(shí),工件表面的電荷會(huì)逐漸消散或與其他電荷中和。這種中和過程減少了表面電荷積累引起的電場(chǎng)屏蔽效應(yīng),從而保證了離子能夠持續(xù)受到加速并維持較高的能量。

  綜上所述,單極性脈沖偏壓電源在產(chǎn)生脈沖電壓并將其施加到工件或電極上時(shí),會(huì)通過加速電場(chǎng)使離子獲得能量并轟擊工件表面。同時(shí),在電壓中斷期間的中和效應(yīng)也有助于維持離子的高能量狀態(tài)。這些過程共同實(shí)現(xiàn)了單極性脈沖偏壓電源的能量釋放和工藝效果。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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