作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2024-05-17
單極性脈沖磁控濺射電源的主要特點(diǎn)包括以下幾個(gè)方面:
明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象:在濺射過(guò)程中,靶面會(huì)積累電荷,這可能導(dǎo)致打火現(xiàn)象和濺射不穩(wěn)定。單極性脈沖磁控濺射電源的設(shè)計(jì)可以有效地改善這一問(wèn)題,提高濺射過(guò)程的穩(wěn)定性和可靠性。
減小濺射表面的打火次數(shù):通過(guò)優(yōu)化電源的輸出特性和脈沖參數(shù),單極性脈沖磁控濺射電源可以減少濺射表面的打火次數(shù),從而保護(hù)濺射設(shè)備和靶材,延長(zhǎng)其使用壽命。
提高膜層質(zhì)量:?jiǎn)螛O性脈沖磁控濺射電源能夠提供穩(wěn)定的電壓和電流輸出,確保濺射過(guò)程的一致性,從而制備出質(zhì)量更高、更均勻的膜層。
平均電源穩(wěn)定功能:該電源具有理想的電壓陡降特性,能夠在濺射過(guò)程中保持穩(wěn)定的電壓輸出,確保濺射過(guò)程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
脈沖控制:通過(guò)調(diào)整脈沖寬度和脈沖頻率,可以精確控制濺射過(guò)程中的能量分布和濺射速率,以滿(mǎn)足不同工藝的需求。
廣泛的適用性:?jiǎn)螛O性脈沖磁控濺射電源主要用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
綜上所述,單極性脈沖磁控濺射電源以其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)在濺射技術(shù)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專(zhuān)利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專(zhuān)注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢(xún)熱線(xiàn):137-1700-7958
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