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真空鍍膜電源

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離子源電源的分類

作者:深圳市英能電氣有限公司

時間:2024-05-28

  離子源電源主要可以分為以下幾種類型:

  弧放電離子源:這是一種基于氣體放電過程的離子源,被廣泛使用。它的工作原理是通過電弧放電使氣體電離,從而產(chǎn)生離子束。

  PIG離子源、雙等離子體離子源和雙彭源:這些離子源也主要基于氣體放電過程,具有相似的工作原理。

  高頻離子源:高頻離子源則是通過氣體中的高頻放電來產(chǎn)生離子的。這種離子源具有廣泛的用途。

  新型重離子源:隨著技術(shù)的發(fā)展,新型重離子源如電子回旋共振離子源(ECR)和電子束離子源(EBIS)已經(jīng)出現(xiàn),這些離子源能使重離子的電荷態(tài)顯著提高。

  在離子源電源中,根據(jù)柵網(wǎng)的使用情況,還可以進(jìn)一步細(xì)分為無柵網(wǎng)離子源和柵網(wǎng)型離子源。無柵網(wǎng)離子源主要通過陰極引出離子,并通過磁場對離子作用產(chǎn)生離子束。柵網(wǎng)型離子源則通過柵網(wǎng)對離子的篩選加速等作用,可更好地控制束型及離子能量。柵網(wǎng)型離子源根據(jù)電源類型,又可以分為考夫曼離子源和射頻離子源等。

  以上內(nèi)容僅供參考,如需更多關(guān)于離子源電源的詳細(xì)信息,建議查閱相關(guān)學(xué)術(shù)文獻(xiàn)或咨詢專業(yè)研究人員。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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