作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-06-03
在使用單極性脈沖磁控濺射電源時，需要注意以下事項：
安全操作：在開啟或關閉電源時，必須先打開或關閉控制面板上的電源開關，避免觸電危險。使用電源時，必須接地，避免因靜電引起的設備故障。嚴禁擅自拆卸或改變電路連接方式，避免因電路短路引起火災等事故。
設備準備：在操作前，確保磁控濺射器已經正確安裝和配置。例如，靶材不得有嚴重損壞和缺陷，否則容易引起爆炸事故。
濺射過程：單次濺射時間請勿超過120s，若需濺射厚電極膜，可多次濺射。濺射時，請確保離子濺射儀的工作電流穩(wěn)定，再開始濺射。若要單次長時間濺射，需要配置水冷機進行冷卻。
樣品處理：禁止使用未干燥的樣品及未黏附的粉末樣品。在拿起上蓋放樣品時，請將上蓋以原始方向放置于濺射池側邊。
防護措施：操作前需要穿戴好防護用具，如手套、眼鏡、防護服等。禁止用手碰觸靶材，也防止臟東西及樣品粘附至靶材上，影響使用。
清潔與維護：在生產過程中及操作后，及時清理設備產生的塵粒和污物，以確保設備的正常運行。在更換靶材時，需要先切斷電源并等待設備完全冷卻后再進行操作。
故障處理：在設備故障時，應當及時切斷電源，并通知專業(yè)人士進行檢修。
此外，還有一些特定于單極性脈沖磁控濺射電源的注意事項：
電源參數：根據具體的鍍膜需求和設備要求，調整電源的輸出電壓、電流、頻率等參數，確保其在合適的范圍內。
冷卻系統(tǒng)：確保電源的冷卻系統(tǒng)正常運行，避免過熱導致設備損壞或性能下降。
磁場控制：對于磁控濺射電源，磁場控制是非常重要的。確保磁場強度、方向等參數符合工藝要求，以獲得理想的濺射效果。
總之，在使用單極性脈沖磁控濺射電源時，需要遵循相關的安全操作規(guī)程和設備要求，確保設備的正常運行和鍍膜質量。
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