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首頁 新聞中心 行業(yè)新聞 磁控濺射靶材打火的原因和解決方案

磁控濺射靶材打火的原因和解決方案

作者:深圳市英能電氣有限公司

時間:2022-02-08

經(jīng)常聽到有客戶抱怨說打火嚴(yán)重,報廢率高,嚴(yán)重耽誤交貨期還影響產(chǎn)品的利潤,尤其是鍍鋼塑合體的素材,或者特殊的畫油間電產(chǎn)品,打火更是嚴(yán)重,也找不到具體的原因,今天我們就來好好說說這到底是怎么回事?


首先打火我們要找到是什么原因造成的,要看是平面靶材還是旋轉(zhuǎn)靶材打火,因為大家用的比較多的是旋轉(zhuǎn)靶材,這里著重介紹旋轉(zhuǎn)靶材,如果是旋轉(zhuǎn)靶材可能是磁場設(shè)計的問題,也有可能是靶材本身純度的問題。旋轉(zhuǎn)靶材兩端容易結(jié)瘤,有人認(rèn)為結(jié)瘤的地方是無效的,所以在靶材兩端用鈦材料代替,這樣可以解決打火問題,但是會導(dǎo)致工作時電位不穩(wěn)定,因為靶材轉(zhuǎn)動的時候,鈦與硅的交界電位活動很大,導(dǎo)致電位不穩(wěn),從而導(dǎo)致鍍膜過程中膜厚不穩(wěn)定。如果設(shè)備有觀察窗口,通過觀察窗口,當(dāng)玻璃經(jīng)過時,會發(fā)現(xiàn)此時輝光來回波動。無論是平面靶還是旋轉(zhuǎn)靶材,設(shè)計磁場時,都應(yīng)該讓靶材表面的刻蝕面積越大越好。旋轉(zhuǎn)靶材濺射面剛好到靶材頂端,這是最理想的狀態(tài),這樣能大大減少打火狀態(tài)的發(fā)生。濺射到頂端并不是因為想讓靶材利用率更高點,而是讓靶材表面盡可能地干凈,這樣能大大減小靶材表面結(jié)瘤和打火現(xiàn)象。平面靶也是同樣的情況,中間的非刻蝕區(qū)域越小越好,這樣靶材表面更干凈,而且能提高靶材利用率。


 

排除了以上的原因,其實電源也是一個關(guān)鍵因素,英能公司針對這個問題專門研發(fā)了一款雙極脈沖偏壓電源,可以很好的解決素材打火的情況,不良率可控制在3‰以內(nèi),基本解決了打火的問題,當(dāng)然英能的其他電源比如中頻磁控濺射電源、脈沖直流磁控濺射電源、脈沖電源、高壓直流電源都是不錯的選擇,穩(wěn)定性是電源最大的亮點,都得到客戶的廣大認(rèn)可的直流電源的廠家 ,如有興趣進(jìn)一步深入了解請咨詢18025476062,我們將為您竭誠服務(wù),為您解決生產(chǎn)過程中遇到的各種棘手問題,您的滿意是我們前行的動力,小編24小時在線為您服務(wù)。

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