TCO玻璃的特性首先由其使用的TCO 靶材決定，常見的 ITO 鍍膜玻璃、FTO 鍍膜玻璃和 AZO 鍍膜玻璃分別使用錫摻雜氧化銦(In2 O3 )、氟摻雜氧化錫(SnO2 )和鋁摻雜氧化鋅(ZnO) 作為TCO 靶材。ITO 玻璃的主流生產(chǎn)工藝是磁控濺射，屬于 PVD 中的一種，由于其具有 良好的導(dǎo)電性能，可作為玻璃電極產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于平板顯示器行業(yè)。ITO 玻璃初期也曾應(yīng) 用于薄膜光伏電池的前電極，但隨著對光吸收性能要求的提高，TCO 玻璃還必須具備提高 光散射的能力，而ITO 鍍膜很難做到這一點且其應(yīng)用于太陽能電池時在等離子體中不夠穩(wěn) 定，因此在薄膜光伏電池上逐漸被 FTO 玻璃替代。

FTO 玻璃主要采用 CVD 工藝鍍膜，其導(dǎo)電性略差于 ITO 玻璃，起初可作為 Low-E 玻璃應(yīng) 用于建筑上。通過對原有生產(chǎn)配方和工藝進(jìn)行改進(jìn)后，目前已可制造出導(dǎo)電性較好、具有 較高的光透過率和霧度 (可對光進(jìn)行散射)的 FTO 玻璃，成為薄膜光伏電池的主流選擇。

AZO 玻璃既可使用 CVD 工藝也可使用?PVD?工藝進(jìn)行鍍膜，由于其易于實現(xiàn)摻雜，可在摻 雜后大幅提高導(dǎo)電性能。AZO 玻璃具有與 ITO 玻璃接近的光電性能，且原材料易得，生產(chǎn) 成本較低，且在等離子體中性能更為穩(wěn)定；而與 FTO 玻璃相比，AZO 玻璃則擁有更強的導(dǎo) 電性能和光透過率。因此，AZO 玻璃可以在不同領(lǐng)域?qū)η皟烧咝纬商娲哂休^大發(fā)展?jié)?力。但從目前來看，AZO 無法進(jìn)行在線鍍膜，其膜層偏軟且刻蝕后存放時間偏短(化學(xué)穩(wěn) 定性較差)，因此暫時不是薄膜太陽能電池的最佳選擇(薄膜太陽能電池的生命周期通常為 20 年以上)

針對PVD濺射電源常用的電源有直流磁控濺射電源、中頻磁控濺射電源、雙極脈沖磁控濺射電源、高壓脈沖電源、離子源、弧電源。歡迎您的了解和咨詢18025476062。