作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2023-09-25
伴隨著磁控濺射技術(shù)的發(fā)展，磁控濺射電源也經(jīng)歷了幾個(gè)發(fā)展階段，現(xiàn)在，中頻磁控濺射電源已成為新的磁控濺射設(shè)備的首選電源，電源采用高頻逆變開(kāi)關(guān)電源技術(shù)制造，可以更精準(zhǔn)地控制膜層厚度，鍍膜過(guò)程中工作更加穩(wěn)定，并具有較好的恒定特性。目前，中頻磁控濺射電源常用的工作模式是恒流、恒功率模式，較少采用的是恒壓模式，另外，中頻磁控濺射電源必須嚴(yán)格控制磁控濺射過(guò)程中靶表面的打火次數(shù)和每次打火的能量，以確保產(chǎn)品膜層致密、光潔度好。要特別注意的是，盡量減少打火瞬間造成的宏觀靶材粒子數(shù)量，它們會(huì)降低膜層的致密性和光潔度，嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)造成脫膜。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
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