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偏壓電源

首頁(yè) 新聞中心 行業(yè)新聞 真空鍍膜電源之單極性脈沖偏壓電源

真空鍍膜電源之單極性脈沖偏壓電源

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2023-10-09

  隨著時(shí)代發(fā)展科技進(jìn)步,偏壓電源的制造從早期的可控硅技術(shù),升級(jí)到現(xiàn)在的高頻逆變技術(shù)??梢哉f(shuō)在真空離子鍍膜中,偏壓電源的好壞對(duì)于成膜質(zhì)量起著非常關(guān)鍵的作用。比如常見(jiàn)的單極性脈沖偏壓電源,其高頻單極脈沖偏壓施壓在工件上,由于存在電壓中斷間隙,能有效減少打火次數(shù),保護(hù)工件表面。在脈沖間隙期間,工件表面積累的電荷可以被中和,從而減少了表面電荷積累引起的打火。高頻逆變技術(shù)中的快速關(guān)斷能力,能有效減少每次打火釋放的能量,即使在打火出現(xiàn)時(shí),也能明顯降低工件表面大損傷程度;脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低,并且通過(guò)調(diào)節(jié)頻率、占空比要改善和控制成膜速度和質(zhì)量。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專(zhuān)利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專(zhuān)注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢(xún)熱線(xiàn):137-1700-7958

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