作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-05-20
離子源電源通過精確控制高壓電源的電壓和電流來影響離子束的能量。以下是其工作原理：
首先，高壓電源的電壓和電流直接影響離子束的加速速度和能量分布。通過改變高壓電源的輸出電壓和電流，可以實現(xiàn)對離子束的加速和減速，進而控制離子束的速度和能夠達到的能量范圍。
在這個過程中，高壓電源的穩(wěn)定性和精度對能量分布的精確控制起著至關重要的作用。只有高度穩(wěn)定的高壓電源才能夠得到可靠的能量分布和刻畫場合的控制精度。
此外，高壓電源的電路結構和控制方式也會影響離子束的空間分布，這也與離子束的能量控制密切相關。離子束的空間分布在粒子加速中同樣重要，因為這直接關系到粒子束的束流控制和穩(wěn)定性、束流增強能力的提高以及束流對應靶物材料的破壞程度等方面。
因此，在高壓電源的選擇和設計中，需要考慮到控制離子束的空間分布和精度，以確保離子束的能量控制精度。同時，還需要相應的控制系統(tǒng)和過程值來確保精度和控制性能。
綜上，離子源電源通過精確控制高壓電源的電壓和電流，以及優(yōu)化高壓電源的控制模式和精確度，來控制離子束的能量、速度和空間分布，從而實現(xiàn)離子束能量的精確控制。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
