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離子源的功能和分類

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2024-05-20

  離子源的功能是將中性原子或分子電離,并從中引出離子束流。它是離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機(jī)、離子束刻蝕裝置、離子推進(jìn)器以及受控聚變裝置等設(shè)備的不可缺少的部件。它能夠?qū)悠穼?dǎo)入系統(tǒng)引入的氣態(tài)樣品分子轉(zhuǎn)化成離子,同時(shí)又具有準(zhǔn)直和聚集作用,使離子會(huì)聚成具有一定幾何形狀和能量的離子束進(jìn)入質(zhì)量分析器。

  離子源根據(jù)工作原理的不同,可以分為以下幾類:

  熱離子源:通過加熱物質(zhì)來產(chǎn)生離子束,如熱陰極離子源和熱陽極離子源。熱陰極離子源是利用陰極加熱產(chǎn)生的熱電子來電離氣體分子從而產(chǎn)生離子束的一種離子源。

  電離源:通過電離過程產(chǎn)生離子束,如電子轟擊電離源和化學(xué)電離源。電加熱銻或鎢絲到高溫產(chǎn)生高速的電子束,樣品經(jīng)過氣化進(jìn)入電離室,與電子流撞擊,若獲得能量高于分子的電離能則分子失去電子而發(fā)生電離或碎裂。

  離子化源:通過氣體放電等方式將中性粒子轉(zhuǎn)化為離子束,如電噴霧離子源和電火花離子源。

  加速器源:利用離子加速器將中性粒子加速并轉(zhuǎn)化為離子束。

  此外,按照引出離子電負(fù)性種類的差別,離子源可以分為正離子源與負(fù)離子源;按照離子源內(nèi)部離子生成原理的差別,離子源可以分為等離子體離子源、表面電離離子源、濺射離子源、電荷交換離子源、電子電離離子源等種類;按照離子源中產(chǎn)生離子材料的差別還可分為氣體離子源、液態(tài)金屬離子源、固體離子源等類別。

  以上信息僅供參考,如需更多關(guān)于離子源的信息,建議查閱相關(guān)文獻(xiàn)或咨詢專業(yè)人士。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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