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真空鍍膜電源

首頁 新聞中心 行業(yè)新聞 真空鍍膜電源的開機跟關機都會有哪些不同的點?

真空鍍膜電源的開機跟關機都會有哪些不同的點?

作者:深圳市英能電氣有限公司

時間:2024-06-26

  真空鍍膜電源的開機和關機步驟及其特點如下:

  開機步驟及特點:

  準備工作:開機前,需熟練掌握“真空鍍膜機安全操作規(guī)程”,并檢查水、電、氣是否正常。冷卻水壓力一般可在0.2MPa以上,氣壓在0.4Mpa以上,電壓在370-390V。

  開機順序:

  首先啟動氣動機械泵。

  約30秒后,打開前級閥。

  開啟復合真空計。

  待前級抽至10Pa以下且穩(wěn)定時,再開啟擴散泵(需到后面查看電爐絲是否發(fā)紅)。

  關機步驟及特點:

  關閉順序:

  首先關閉電離計。

  關閉高閥。

  切斷加熱器電源。

  使用前級泵抽前級,讓其自然降至室溫。

  關閉前級管道閥。

  停止機械泵。

  停止冷卻水、電和氣的供應。

  總結不同點:

  操作流程:開機步驟是逐步開啟設備各組件,而關機步驟則是逐步關閉各組件,并確保設備安全地冷卻至室溫。

  關注點:開機時,需要關注各組件啟動的順序和時間間隔,特別是擴散泵的啟動條件(前級抽至10Pa以下且穩(wěn)定)。關機時,需要確保設備安全、穩(wěn)定地冷卻至室溫,防止設備過熱或損壞。

  安全因素:無論是開機還是關機,都需要嚴格遵守安全操作規(guī)程,確保操作人員的安全和設備的穩(wěn)定運行。

  以上是真空鍍膜電源開機和關機的步驟及特點,供您參考。在實際操作中,還需要根據(jù)具體的設備型號和操作規(guī)程進行調整。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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