作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2024-06-26
離子鍍弧源在鍍膜中的磁場(chǎng)作用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
影響離子運(yùn)動(dòng)軌跡:
當(dāng)離子穿過(guò)磁場(chǎng)時(shí),其運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)。這主要是因?yàn)榇艌?chǎng)對(duì)帶電離子產(chǎn)生洛倫茲力,使其運(yùn)動(dòng)方向發(fā)生改變。
偏轉(zhuǎn)后的離子運(yùn)動(dòng)軌跡可能導(dǎo)致鍍膜表面沉積不均勻,產(chǎn)生孔洞和缺陷,降低鍍膜膜層的密封性和耐腐蝕性。
優(yōu)化鍍膜質(zhì)量:
盡管磁場(chǎng)對(duì)離子運(yùn)動(dòng)軌跡有負(fù)面影響,但合理的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)也可以用來(lái)優(yōu)化鍍膜質(zhì)量。例如,通過(guò)調(diào)整磁場(chǎng)強(qiáng)度和方向,可以控制離子的轟擊角度和能量,從而影響鍍膜層的結(jié)構(gòu)和性能。
磁場(chǎng)控制:
在真空鍍膜過(guò)程中,可以使用磁場(chǎng)中性的離子源來(lái)避免磁場(chǎng)對(duì)離子的影響。
另一種方法是使用磁場(chǎng)屏蔽技術(shù),通過(guò)設(shè)計(jì)特定的磁場(chǎng)屏蔽結(jié)構(gòu)來(lái)減小磁場(chǎng)對(duì)離子運(yùn)動(dòng)的影響。
磁場(chǎng)與鍍膜效率:
磁場(chǎng)可以影響鍍膜過(guò)程中的蒸發(fā)速率和離子化效率。通過(guò)調(diào)整磁場(chǎng)參數(shù),可以控制蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和離子化效率,從而影響鍍膜速率和膜層質(zhì)量。
結(jié)合其他技術(shù):
離子鍍技術(shù)通常與真空蒸發(fā)、濺射等技術(shù)結(jié)合使用。在這些復(fù)合鍍膜工藝中,磁場(chǎng)可以與其他物理場(chǎng)(如電場(chǎng)、溫度場(chǎng)等)相互作用,共同影響鍍膜層的性能。
注意事項(xiàng):
在設(shè)計(jì)真空鍍膜系統(tǒng)時(shí),應(yīng)避免使用鐵磁性材料,以減少磁場(chǎng)對(duì)鍍膜過(guò)程的影響。
需要根據(jù)具體的鍍膜工藝和設(shè)備結(jié)構(gòu)來(lái)選擇合適的磁場(chǎng)參數(shù)和控制方法。
綜上所述,離子鍍弧源在鍍膜中的磁場(chǎng)作用是一個(gè)復(fù)雜而重要的問(wèn)題。通過(guò)合理設(shè)計(jì)磁場(chǎng)參數(shù)和控制方法,可以優(yōu)化鍍膜質(zhì)量、提高鍍膜效率并滿足特定的應(yīng)用需求。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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