作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2023-03-11
直流高壓電源是一種高精度控制直流輸出電壓和電流的電源設備。在工業(yè)和實驗室中廣泛應用于半導體工藝、科學研究、精密儀器測試等領域。根據(jù)使用的控制模式，直流高壓電源可以分為電流模式和電壓模式。
電流模式和電壓模式的區(qū)別主要在于輸出電路的控制方式。在電流模式下，直流高壓電源控制輸出電流大小，即在一定范圍內(nèi)保持恒定電流輸出，而輸出電壓則隨著負載電阻的變化而變化。這種模式廣泛應用于需要保證負載端電流穩(wěn)定的場合，如半導體工藝中的離子注入和化學氣相沉積等。
電壓模式則是直流高壓電源控制輸出電壓大小，即在一定范圍內(nèi)保持恒定電壓輸出，而輸出電流則隨著負載電阻的變化而變化。這種模式適用于需要保證負載端電壓穩(wěn)定的場合，如精密儀器中的檢測、測量等。
同時，在實際應用中，根據(jù)需要可在電流模式和電壓模式之間切換。例如，在半導體工藝中，涂層材料的厚度和形狀變化會導致負載電阻的變化，此時可以先在電壓模式下保持恒定電壓輸出，然后切換到電流模式下，保證穩(wěn)定的負載電流。
總結，直流高壓電源的電流模式和電壓模式的區(qū)別在于對輸出電路的控制方式。電流模式下，保持恒定電流輸出，適用于需要保持穩(wěn)定負載電流的場合。電壓模式下，保持恒定電壓輸出，適用于需要保持穩(wěn)定負載電壓的場合。根據(jù)實際需求，可以在兩種模式之間切換，以保證最佳工作效果。
