具備普通中頻電源所有功能
鍍膜質(zhì)量及均勻性均有所上升，色差更小
針對不同靶材靈活設(shè)定頻率，幫助客戶最優(yōu)化定制抑弧性能、膜層性能、沉積速率
平衡靶材濺射速率，延長生產(chǎn)周期，節(jié)省靶材成本。還可以實現(xiàn)共濺射功能，濺射不同靶材
超寬的阻抗匹配范圍，適合更多種類靶材，工藝窗口更寬
| 項目 | 型號 | ||||
| SMS-10 | SMS-20 | SMS-30 | SMS-40 | SMS系列電源 | |
| 輸入電壓 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||
| 輸出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
| 工作電流 | 2A-10A | 3A-20A | 5A-30A | 7A-40A | 2A-100A可定制 |
| 空載電壓 | ＞1000V | ||||
| 工作電壓 | 100V～1000V（可定制） | ||||
| 工作方式 | 恒壓、恒流、恒功率 | ||||
| 輸出頻率 | 20kHz～160kHz（常規(guī)頻率：20kHz～40kHz） | ||||
| 波形 | 用戶可調(diào)正弦波 | ||||
| 占空比 | 5%-94% | ||||
| 調(diào)節(jié)精度 | ≤1% | ||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||
| 響應(yīng)時間 | ＜500ns | ||||
| 通訊方式 | RS485、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協(xié)議 | ||||
| 冷卻方式 | 風冷+水冷 | ||||
| 尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | ||
| 安全防護 | 過流、過壓、短路、過熱保護，接地保護，漏電保護 | ||||
