提高鍍膜效率、降低成本
能有效抑制或消除靶材表面的弧光放電現(xiàn)象
提高膜層質(zhì)量，增加沉積薄膜的致密性
提供更加穩(wěn)定的等離子體環(huán)境，能提高其濺射速率和沉積效率
金屬、合金、氧化物、氮化物等材料的沉積
| 項(xiàng)目 | 型號(hào) | |||||||
| PM-100W | PM-500W | PM-10/A PM-10/B | PM-20/A PM-20/B | PM-30/A PM-30/B | PM-40/A PM-40/B | PM-60/A PM-60/B | PM-80/A PM-80/B | |
| 輸入電壓 | 24Vdc | 220V ±10% ，50～60 Hz | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | |||||
| 輸出功率 | 100W | 500W | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 60KW | 80KW |
| A款:工作電流 | 1-100mA | 1A | 2A-10A | 3A-20A | 4A-30A | 5A-40A | 8A-60A | 10A-80A |
| A款:工作電壓 | 10V～1000V | 10V～500V | 100V～1000V（空載電壓＞1000V） | |||||
| B款:工作電流 | - | - | 2A-12.5A | 3A-25A | 4A-37.5A | 5A-50A | 8A-75A | 10A-100A |
| B款:工作電壓 | - | - | 100V～800V（空載電壓＞800V） | |||||
| 空載電壓 | ＞1000V | ＞500V | - | |||||
| 工作方式 | 恒壓、恒流、恒功率 | 恒壓、恒流、恒功率 | ||||||
| 輸出頻率 | - | 40kHz～80kHz | 20kHz～350kHz（常規(guī)頻率：20kHz～80kHz） | |||||
| 占空比 | - | 10%-94% | 10%-80%（最大94%） | |||||
| 調(diào)節(jié)精度 | ≤1% | ≤1% | ||||||
| 工作效率 | ≥90% | ≥90% | ||||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ＜500ns | ＜500ns | ||||||
| 通訊方式 | RS485 | RS485、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協(xié)議 | ||||||
| 冷卻方式 | - | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷+水冷 | |||||
| 尺寸(mm) | 260(D)×160(W)×75(H) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | |||||
| 安全防護(hù) | 過流、過壓、短路、過熱保護(hù)，接地保護(hù)，漏電保護(hù) | |||||||
