作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2022-05-18
磁控濺射電源的冷卻方式是我們?cè)谑褂秒娫催^程中比較關(guān)注的問題，涉及到我們電源使用穩(wěn)定等各個(gè)方面，深圳英能電氣有限公司在這一方面有比較好的獨(dú)到的處理方式，常規(guī)是采用風(fēng)冷加水冷模式，小功率采用風(fēng)冷模式，還可以根據(jù)客戶需求量身制定。我司采用的冷卻水模式的原理以及注意事項(xiàng)請(qǐng)知悉，使電源的使用過程更加平穩(wěn)和諧。
1、風(fēng)冷：引入相當(dāng)于室溫的空氣（最高40度）。 把輸入空氣分配到各個(gè)電源。 防止空氣在每個(gè)電源外重復(fù)循環(huán)。 排出的空氣不得再返回循環(huán)并防止成為輸入空氣
2、冷卻水管應(yīng)牢固連接，避免漏水，損壞電源。 冷卻水進(jìn)水溫度20℃，冷卻水水壓1.5 – 3.0Kg/cm2 冷卻用水應(yīng)使用軟化水，防止結(jié)垢。工作過程中，必須保證冷卻水暢通。 當(dāng)電源不工作時(shí)，應(yīng)停止冷卻水循環(huán)，以避免電源內(nèi)部結(jié)露。
不管磁控濺射電源還是脈沖電源，冷卻方式都是一樣的，但是根據(jù)功率的不同會(huì)略有不同，也歡迎同行業(yè)探討交流更深層次的問題，為電源釋放熱量更好的排憂解難提出更多寶貴建議。請(qǐng)多關(guān)注我司網(wǎng)站和產(chǎn)品介紹，也歡迎來電咨詢，相信會(huì)有不一樣的收獲。
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