作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2023-11-15
我們都比較了解單極性脈沖偏壓電源,也就是直流脈沖偏壓電源,那雙極脈沖偏壓電源又是什么呢?雙極性脈沖偏壓其實(shí)是有正極和負(fù)極,負(fù)脈沖的作用跟單極性脈沖偏壓電源是一樣的,正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子來中和工件表面的正電荷積累。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量遠(yuǎn)小于離子,加速容易,所以正脈沖的幅值遠(yuǎn)小于負(fù)脈沖幅值,通常為10~100V,正、負(fù)脈沖的電流積分應(yīng)相等。所以正電源的功率比負(fù)電源的功率小很多。當(dāng)正電源電壓為零時(shí),雙極性脈沖偏壓就變成單極性脈沖偏壓,所以這就是有時(shí)候我們分不清楚的兩種電源差別的緣故。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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