作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-03-25
真空鍍膜電源的種類主要包括以下幾種：
1. 直流(DC)濺射電源：這種電源主要用于磁控濺射方法中，通過在濺射靶材表面施加直流電壓，使得靶材表面的原子離開靶材并沉積在基底上。它能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的電弧并控制離子的能量和濺射速率。
2. 射頻(RF)電源：射頻電源用于產(chǎn)生高頻電場，使得材料以離子形式在真空室中沉積到基底表面上。射頻電源適用于一些對直流濺射反應(yīng)不佳的材料。
3. 中頻(MF)電源：中頻電源也是真空鍍膜設(shè)備中常用的一種電源系統(tǒng)，它可以根據(jù)需要接入靶基座，使用中頻濺射技術(shù)。
4. 負(fù)壓直流電源：負(fù)壓直流電源是用來提供負(fù)壓電場的電源，主要用于控制鍍膜材料在真空鍍膜過程中的沉積速率和薄膜的厚度。它通常與高頻電源配合使用，以實(shí)現(xiàn)對薄膜性質(zhì)的控制和調(diào)節(jié)。
此外，還有脈沖電源、勵磁電源、加熱控制電源等其他類型的真空鍍膜電源，它們根據(jù)具體的鍍膜工藝和需求進(jìn)行選擇和使用。
以上列舉的真空鍍膜電源種類并非窮盡所有，隨著技術(shù)的進(jìn)步和應(yīng)用需求的變化，可能還會有新的電源類型出現(xiàn)。在實(shí)際應(yīng)用中，需要根據(jù)具體的鍍膜材料和工藝要求選擇適合的電源類型。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
