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首頁(yè) 新聞中心 行業(yè)新聞 離子源電源的高電壓輸出有什么具體應(yīng)用場(chǎng)景?

離子源電源的高電壓輸出有什么具體應(yīng)用場(chǎng)景?

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2024-04-09

  離子源電源的高電壓輸出在多個(gè)領(lǐng)域有具體的應(yīng)用場(chǎng)景。以下是其中一些主要的應(yīng)用:

  1. 離子注入:在半導(dǎo)體制造中,離子注入是一個(gè)關(guān)鍵步驟,用于將摻雜離子引入硅片以改變其導(dǎo)電性。離子源電源提供的高電壓可以加速離子到所需的能量,并精確控制離子的注入深度和濃度。

  2. 質(zhì)譜分析:質(zhì)譜儀使用離子源將樣品分子電離成離子,并通過(guò)電場(chǎng)和磁場(chǎng)將它們分離和檢測(cè)。離子源電源為質(zhì)譜儀提供所需的高電壓,以確保離子能夠順利產(chǎn)生、傳輸和分離。

  3. 離子束刻蝕:離子束刻蝕是一種高精度的微納加工技術(shù),用于制造微電子器件、納米結(jié)構(gòu)等。離子源電源產(chǎn)生的高電壓離子束能夠精確地去除材料表面的原子或分子層,實(shí)現(xiàn)微米甚至納米級(jí)別的加工精度。

  4. 離子推進(jìn)器:在空間推進(jìn)技術(shù)中,離子推進(jìn)器使用離子源產(chǎn)生的高速離子流來(lái)產(chǎn)生推力。離子源電源為離子推進(jìn)器提供所需的高電壓,以加速離子到足夠的速度并產(chǎn)生有效的推力。

  這些應(yīng)用只是離子源電源高電壓輸出的一些例子,實(shí)際上,隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,離子源電源在更多領(lǐng)域中的應(yīng)用正在不斷擴(kuò)展。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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