作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2024-04-19
中頻磁控濺射電源的頻率對(duì)濺射效率有重要影響。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術(shù)，廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域。在磁控濺射過程中，電源的頻率是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，它影響著濺射速率、成膜質(zhì)量和薄膜的性能。
具體來說，中頻電源的頻率通常在10kHz至100kHz之間。相較于低頻和高頻，中頻可以提供更高的濺射速率和更好的成膜質(zhì)量。這是因?yàn)橹蓄l電源能夠產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，使靶材表面的原子或離子更有效地被激發(fā)和濺射出來，并均勻地沉積在基底上。
此外，中頻磁控濺射電源的頻率還能影響薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和性能。通過調(diào)整電源頻率，可以控制濺射過程中離子的能量和分布，從而改變薄膜的晶粒大小、應(yīng)力狀態(tài)和光學(xué)性能等。
因此，在選擇中頻磁控濺射電源時(shí)，需要根據(jù)具體的鍍膜要求和工藝條件來確定最佳的頻率設(shè)置，以實(shí)現(xiàn)高效的濺射和優(yōu)質(zhì)的薄膜沉積。
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深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
