作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2024-04-22
離子源電源的工作原理主要基于氣體放電原理。當(dāng)氣體在離子源中的陰陽(yáng)極之間通過(guò)時(shí),其陽(yáng)極的正電壓與加在內(nèi)外陰極端部間的強(qiáng)磁場(chǎng)相互作用,產(chǎn)生等離子體。來(lái)自于等離子體中的離子受陽(yáng)極電場(chǎng)的驅(qū)動(dòng),由離子源中產(chǎn)生噴出的離子束流。此外,不同類(lèi)型的離子源,如高頻離子源,則利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使氣體電離,形成無(wú)極放電,產(chǎn)生大量等離子體。
離子源電源的作用主要是為離子源提供所需的工作電壓和電流,以產(chǎn)生穩(wěn)定的離子束。離子束在多種應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用,如離子束清洗、離子注入、離子鍍膜等。離子源電源通過(guò)精確控制離子束的能量、束流大小和方向等參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的精確處理,如去除表面污染物、增加薄膜附著力、改變材料表面性質(zhì)等。
總的來(lái)說(shuō),離子源電源是離子源正常工作的關(guān)鍵部件,它的性能直接影響到離子束的質(zhì)量和穩(wěn)定性,進(jìn)而影響到離子束處理的效果。因此,在選購(gòu)離子源電源時(shí),需要考慮其穩(wěn)定性、精確性、可靠性以及與應(yīng)用需求的匹配度等因素。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專(zhuān)利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專(zhuān)注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢(xún)熱線(xiàn):137-1700-7958
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