作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-05-24
中頻磁控濺射電源的分類主要基于其特性和功能，具體可以分為以下幾種類型：
直流恒壓型：這種電源輸出直流恒定電壓，適用于靶材材料的濺射，能夠提供穩(wěn)定的能量輸送。
直流恒流型：輸出直流恒定電流，適用于濺射過程中需要穩(wěn)定的電流輸入的場合，如濺射金屬材料。
脈沖型：輸出電壓或電流呈脈沖形式，這種電源的能量密度更高，聚焦區(qū)域更小，適用于一些高密度微結(jié)構(gòu)的制備和表面修飾。脈沖切換的電場可以增強離子的動能，使得濺射速率更高，薄膜質(zhì)量更好。
反饋型：通過反饋控制回路，自動調(diào)節(jié)電源的輸出電壓或電流，以保證濺射過程的穩(wěn)定性。
大功率型：輸出功率較高，可用于大面積或高速濺射的工藝過程，如制備大面積薄膜或在工業(yè)生產(chǎn)線上應(yīng)用。
此外，根據(jù)電源的頻率和功率等特性，中頻磁控濺射電源還可以進(jìn)一步細(xì)分為不同的型號和規(guī)格。這些電源在磁控濺射技術(shù)中扮演著重要的角色，能夠滿足不同工藝和應(yīng)用的需求。
請注意，以上分類僅供參考，具體分類可能因廠家和應(yīng)用領(lǐng)域的不同而有所差異。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
