作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-06-13
離子源電源是一種用于供給離子源的電源設備,其主要作用是為離子源提供所需的偏壓電壓,以控制離子束的能量和流強,從而實現(xiàn)對離子束的精確操控。
離子源電源通常采用直流電源的形式,其輸出電壓范圍一般在幾千伏至數(shù)十千伏之間。它是離子源系統(tǒng)中不可或缺的一部分,通過為離子源提供穩(wěn)定的偏壓電壓,實現(xiàn)對離子束的精確操控,從而滿足各種應用需求。
離子源電源的應用領域非常廣泛,包括但不限于離子注入、質(zhì)譜分析、離子束刻蝕、離子推進器等。例如,在半導體制造中,離子注入是一個關鍵步驟,離子源電源提供的高電壓可以加速離子到所需的能量,并精確控制離子的注入深度和濃度。在質(zhì)譜儀中,離子源電源為質(zhì)譜儀提供所需的高電壓,以確保離子能夠順利產(chǎn)生、傳輸和分離。
此外,離子源電源還可以用于表面清洗和改性。通過控制氣體放電過程,使等離子體轟擊工件表面,可以消除表面附著的一些低分子物質(zhì),引起表面的物理形貌和化學結構的變化,使工件得到表面刻蝕和活化作用。
總之,離子源電源是一種重要的電源設備,在多個領域都有著廣泛的應用。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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