作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2024-06-28
直流磁控濺射電源的主要用途可以歸納為以下幾個(gè)方面:
薄膜制備:
直流磁控濺射電源是科學(xué)研究和精密電子制造中常見的薄膜制備技術(shù)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,它已成為重要的工業(yè)化大面積真空鍍膜技術(shù)之一。
該技術(shù)廣泛應(yīng)用于各種薄膜的制備,如金屬、半導(dǎo)體、合金、氧化物、化合物半導(dǎo)體等。
例如,直流磁控濺射電源工藝生產(chǎn)的鍍膜玻璃,可由多層金屬或金屬氧化物制成,允許能量通過(guò)率和反射率任意調(diào)節(jié),具有良好的美學(xué)效果,因此越來(lái)越多地應(yīng)用于現(xiàn)代建筑領(lǐng)域。
工業(yè)應(yīng)用:
直流磁控濺射電源技術(shù)廣泛應(yīng)用于玻璃、汽車、醫(yī)療衛(wèi)生、電子工業(yè)等行業(yè)和民生領(lǐng)域。
在織物涂層領(lǐng)域,該技術(shù)可應(yīng)用于安全領(lǐng)域,如防觸電、電磁屏蔽和機(jī)器人防護(hù)織物等。
同時(shí),它也可用于制造染料,在醫(yī)療保健、環(huán)境保護(hù)、電子工業(yè)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。
工作原理與優(yōu)勢(shì):
直流磁控濺射電源的工作原理涉及電流控制、磁場(chǎng)控制和離子控制三個(gè)方面。這種技術(shù)通過(guò)磁鐵和線圈產(chǎn)生一個(gè)穩(wěn)定的磁場(chǎng),控制濺射電子的軌跡和能量,使其更加集中和穩(wěn)定地沉積在目標(biāo)表面上。
磁控濺射技術(shù)具有濺射速率高、基片溫度低、膜層結(jié)合性良好、可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜等優(yōu)點(diǎn)。
設(shè)備與系統(tǒng):
一個(gè)實(shí)用的直流磁控濺射電源系統(tǒng)通常包括直流磁控濺射電源臺(tái)、制冷裝置、渦輪分子泵和氣體流量控制器等部件。
在濺射真空室中,通過(guò)在第二靶位置使用RF電源對(duì)靶進(jìn)行直流磁控濺射電源,實(shí)現(xiàn)薄膜涂層的制備。
分類與特點(diǎn):
直流磁控濺射電源解決了DC濺射不能濺射絕緣體的缺點(diǎn),可以濺射導(dǎo)體和絕緣體,提高了鍍膜效率。
綜上所述,直流磁控濺射電源以其高效、穩(wěn)定、可靠的濺射鍍膜解決方案,在多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,為現(xiàn)代工業(yè)和技術(shù)的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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