作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2022-12-09
脈沖偏壓電源（Bias power supply），是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其它真空物理氣相沉積設(shè)備的重要組成部分，針對鍍膜工藝的不同，偏壓電源也分了不同的種類。
根據(jù)波形可分為：
一、直流偏壓電源
二、直流脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1.高頻單極性脈沖偏壓施壓在工件上，相比直流偏壓而言，由于存在電壓中斷間隙，能有效減少打火次數(shù)，保護(hù)工件表面。
2.脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，從而減少了表面電荷積累引起的打火。
3.高頻逆變技術(shù)中的快速關(guān)斷能力，能有效減少每次打火釋放的能量，即使在打火出現(xiàn)時(shí)，也能明顯降低工件表面大損傷程度。
4.脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低。
5.可以通過調(diào)節(jié)頻率、占空比要改善和控制成膜速度和質(zhì)量。
三、直流疊加脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1.具有單極性脈沖偏壓電源的所有特點(diǎn)。
2. 直流和直流疊加脈沖模式下，消除了單極性脈沖間隙間離子能量很低的問題。
四、雙極性脈沖偏壓
主要特點(diǎn)
1. 負(fù)脈沖的作用同單極性脈沖偏壓電源，正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子來中和工件表面的正電荷積累。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量遠(yuǎn)小于離子，加速很容易，所以正脈沖的幅值遠(yuǎn)小于負(fù)脈沖幅值，通常為10～100V，正、負(fù)脈沖的電流積分應(yīng)相等。所以正電源的功率比負(fù)電源的功率小很多。
2. 當(dāng)正電源電壓為零時(shí)，雙極性脈沖偏壓就變成單極性脈沖偏壓。
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