作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2022-03-10
TCO玻璃的特性首先由其使用的TCO 靶材決定，常見的 ITO 鍍膜玻璃、FTO 鍍膜玻璃和 AZO 鍍膜玻璃分別使用錫摻雜氧化銦(In2 O3 )、氟摻雜氧化錫(SnO2 )和鋁摻雜氧化鋅(ZnO) 作為TCO 靶材。ITO 玻璃的主流生產(chǎn)工藝是磁控濺射，屬于 PVD 中的一種，由于其具有 良好的導電性能，可作為玻璃電極產(chǎn)品被廣泛應用于平板顯示器行業(yè)。ITO 玻璃初期也曾應 用于薄膜光伏電池的前電極，但隨著對光吸收性能要求的提高，TCO 玻璃還必須具備提高 光散射的能力，而ITO 鍍膜很難做到這一點且其應用于太陽能電池時在等離子體中不夠穩(wěn) 定，因此在薄膜光伏電池上逐漸被 FTO 玻璃替代。
FTO 玻璃主要采用 CVD 工藝鍍膜，其導電性略差于 ITO 玻璃，起初可作為 Low-E 玻璃應 用于建筑上。通過對原有生產(chǎn)配方和工藝進行改進后，目前已可制造出導電性較好、具有 較高的光透過率和霧度 (可對光進行散射)的 FTO 玻璃，成為薄膜光伏電池的主流選擇。
AZO 玻璃既可使用 CVD 工藝也可使用?PVD?工藝進行鍍膜，由于其易于實現(xiàn)摻雜，可在摻 雜后大幅提高導電性能。AZO 玻璃具有與 ITO 玻璃接近的光電性能，且原材料易得，生產(chǎn) 成本較低，且在等離子體中性能更為穩(wěn)定；而與 FTO 玻璃相比，AZO 玻璃則擁有更強的導 電性能和光透過率。因此，AZO 玻璃可以在不同領(lǐng)域?qū)η皟烧咝纬商娲?，具有較大發(fā)展?jié)?力。但從目前來看，AZO 無法進行在線鍍膜，其膜層偏軟且刻蝕后存放時間偏短(化學穩(wěn) 定性較差)，因此暫時不是薄膜太陽能電池的最佳選擇(薄膜太陽能電池的生命周期通常為 20 年以上)
針對PVD濺射電源常用的電源有直流磁控濺射電源、中頻磁控濺射電源、雙極脈沖磁控濺射電源、高壓脈沖電源、離子源、弧電源。歡迎您的了解和咨詢18025476062。
