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真空鍍膜電源之電弧電源

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真空鍍膜電源之電弧電源

作者:深圳市英能電氣有限公司

時(shí)間:2023-09-22

電弧電源也就是我們常說的弧電源,在電弧離子鍍膜中靶材蒸發(fā)和電離的實(shí)現(xiàn)離不開弧電源提供能量,并且弧電源還能自動(dòng)檢測滅弧現(xiàn)象并自動(dòng)引弧,保證鍍膜過程中的連續(xù)性和膜層的均勻性;此外,弧電源的穩(wěn)弧性能尤其是最小穩(wěn)弧電流對膜層的一致性、效率性和光潔度影響很大。穩(wěn)定可靠的弧電源對整臺設(shè)備的性能至關(guān)重要?;‰娫磸膫鹘y(tǒng)電源式,發(fā)展到現(xiàn)在的高頻逆變式,與傳統(tǒng)電源相比不僅電源的體積、重量縮小,電源效率更是提高了20%~30%左右,電源的響應(yīng)速度和調(diào)節(jié)精度更高。


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