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真空鍍膜電源之中頻磁控濺射電源

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真空鍍膜電源之中頻磁控濺射電源

作者:深圳市英能電氣有限公司

時間:2023-09-25

  伴隨著磁控濺射技術(shù)的發(fā)展,磁控濺射電源也經(jīng)歷了幾個發(fā)展階段,現(xiàn)在,中頻磁控濺射電源已成為新的磁控濺射設(shè)備的首選電源,電源采用高頻逆變開關(guān)電源技術(shù)制造,可以更精準地控制膜層厚度,鍍膜過程中工作更加穩(wěn)定,并具有較好的恒定特性。目前,中頻磁控濺射電源常用的工作模式是恒流、恒功率模式,較少采用的是恒壓模式,另外,中頻磁控濺射電源必須嚴格控制磁控濺射過程中靶表面的打火次數(shù)和每次打火的能量,以確保產(chǎn)品膜層致密、光潔度好。要特別注意的是,盡量減少打火瞬間造成的宏觀靶材粒子數(shù)量,它們會降低膜層的致密性和光潔度,嚴重時可能會造成脫膜。

  深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958

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