作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2023-10-09
隨著時(shí)代發(fā)展科技進(jìn)步，偏壓電源的制造從早期的可控硅技術(shù)，升級(jí)到現(xiàn)在的高頻逆變技術(shù)。可以說(shuō)在真空離子鍍膜中，偏壓電源的好壞對(duì)于成膜質(zhì)量起著非常關(guān)鍵的作用。比如常見的單極性脈沖偏壓電源，其高頻單極脈沖偏壓施壓在工件上，由于存在電壓中斷間隙，能有效減少打火次數(shù)，保護(hù)工件表面。在脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，從而減少了表面電荷積累引起的打火。高頻逆變技術(shù)中的快速關(guān)斷能力，能有效減少每次打火釋放的能量，即使在打火出現(xiàn)時(shí)，也能明顯降低工件表面大損傷程度；脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低，并且通過(guò)調(diào)節(jié)頻率、占空比要改善和控制成膜速度和質(zhì)量。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
