作者：深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間：2023-10-11
雙極性脈沖磁控濺射電源的一個(gè)工作周期內(nèi)存在正負(fù)兩種電壓，在鍍膜過(guò)程中正負(fù)電源適時(shí)切換，及時(shí)釋放電荷積累。同時(shí)也存在正負(fù)兩種脈沖，負(fù)脈沖的作用同單極性脈沖偏壓電源一樣，工作于靶材的濺射。正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子來(lái)中和工件表面的正電荷積累。以達(dá)到減少打火的目的。需要注意的是，當(dāng)正電壓為零時(shí)，雙極性脈沖偏壓就變成單極性脈沖偏壓。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽(yáng)極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
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