作者：深圳市英能電氣有限公司
時間：2024-03-29
單極性脈沖磁控濺射電源是一種采用矩形波電壓的脈沖電源，用于替代傳統(tǒng)的直流電源進行磁控濺射沉積。這種電源可以有效地抑制電弧產(chǎn)生，進而消除由此產(chǎn)生的薄膜缺陷，并提高濺射沉積速率，降低沉積溫度。
其主要特點包括明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象、減小濺射表面的打火次數(shù)、提高膜層質(zhì)量等。
此外，單極性脈沖磁控濺射電源還具有平均電源穩(wěn)定功能，具有理想的電壓陡降特性，充分滿足磁控濺射工藝過程的連續(xù)性。它主要用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè)，主要產(chǎn)品：中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源，陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源，HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認證，擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線：137-1700-7958
