作者:深圳市英能電氣有限公司
時(shí)間:2024-03-29
單極性脈沖磁控濺射電源抑制電弧產(chǎn)生的方式主要包括以下幾點(diǎn):
1. 脈沖電壓的應(yīng)用:單極性脈沖磁控濺射電源使用矩形波電壓的脈沖電源代替?zhèn)鹘y(tǒng)的直流電源。這種脈沖電壓可以有效地抑制電弧的產(chǎn)生。當(dāng)檢測到電弧時(shí),電源會(huì)立即通過降低輸出電壓幅值來進(jìn)行抑制。
2. 負(fù)載匹配與調(diào)整:通過對(duì)電源和負(fù)載的精確匹配和調(diào)整,可以優(yōu)化電源的輸出特性,降低電弧產(chǎn)生的概率。這包括調(diào)整電源的輸出阻抗,使其與負(fù)載的輸入阻抗相匹配,從而實(shí)現(xiàn)最大功率傳輸和最小功率損耗。
3. 先進(jìn)的控制系統(tǒng):一些單極性脈沖磁控濺射電源配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)監(jiān)測電源和負(fù)載的狀態(tài),及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理電弧產(chǎn)生的跡象。這種控制系統(tǒng)可以根據(jù)負(fù)載的變化自動(dòng)調(diào)整電源的輸出參數(shù),以保持穩(wěn)定的濺射過程。
4. 靶材的清潔與預(yù)處理:在濺射過程中,靶材表面的污染或雜質(zhì)可能會(huì)導(dǎo)致電弧的產(chǎn)生。因此,對(duì)靶材進(jìn)行定期的清潔和預(yù)處理也是抑制電弧產(chǎn)生的重要措施之一。
需要注意的是,具體的抑制電弧產(chǎn)生的方法和效果可能因不同的設(shè)備和工藝條件而有所不同。因此,在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)具體情況選擇合適的方法和措施來抑制電弧的產(chǎn)生。
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深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產(chǎn)品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術(shù)企業(yè)、iso9001認(rèn)證,擁有專利多份。產(chǎn)品已獲得ce、rohs認(rèn)證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領(lǐng)域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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