作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-04-25
單極性脈沖偏壓電源在真空離子鍍膜等應用中具有一些明顯的優(yōu)點。
首先,其高頻單極脈沖偏壓施加在工件上,存在電壓中斷間隙,能有效減少打火次數,從而保護工件表面。在脈沖間隙期間,工件表面積累的電荷可以被中和,減少了表面電荷積累引起的打火。
其次,高頻逆變技術中的快速關斷能力能有效減少每次打火釋放的能量,即使在打火出現時,也能明顯降低工件表面的損傷程度。
此外,脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量很低,這樣可以通過調節(jié)頻率、占空比來改善和控制成膜速度和質量。
最后,與直流偏壓相比,單極性脈沖偏壓電源能更好地控制離子轟擊過程,從而優(yōu)化薄膜的微觀結構和性能。
因此,單極性脈沖偏壓電源在提高薄膜質量、減少工件損傷以及優(yōu)化工藝控制等方面具有顯著優(yōu)勢。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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