作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-04-25
單極性脈沖偏壓電源通過以下方式減少工件表面的損傷程度:
首先,其高頻單極性脈沖偏壓在工件上施加時,存在電壓中斷間隙,這個特性使得打火次數(shù)得到有效減少。打火次數(shù)的減少直接降低了工件表面因打火而產生的損傷風險。
其次,單極性脈沖偏壓電源利用高頻逆變技術中的快速關斷能力。這種能力能有效減少每次打火時釋放的能量。即使在實際出現(xiàn)打火的情況下,由于釋放的能量被顯著降低,工件表面的損傷程度也能得到明顯減輕。
此外,在脈沖間隙期間,沉積到工件表面的離子能量非常低。這種低能量沉積有助于進一步減少工件表面的損傷,同時也有利于通過調節(jié)頻率和占空比來更精細地改善和控制成膜的速度和質量。
綜合以上因素,單極性脈沖偏壓電源在減少工件表面損傷程度方面表現(xiàn)出了顯著的效果。
深圳市英能電氣有限公司是一家集真空鍍膜電源/PVD鍍膜電源的研發(fā)、生產與銷售為一體的高科技企業(yè),主要產品:中頻磁控濺射電源、單極性脈沖偏壓電源/雙極性脈沖偏壓、直流偏壓電源、直流磁控濺射電源、單極性脈沖磁控濺射電源,陽極電源、離子源電源、弧電源、高功率脈沖磁控濺射電源,HIPIMS電源等。已獲高新技術企業(yè)、iso9001認證,擁有專利多份。產品已獲得ce、rohs認證。專注提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。咨詢熱線:137-1700-7958
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