作者:深圳市英能電氣有限公司
時間:2024-06-03
在使用單極性脈沖磁控濺射電源時,需要注意以下事項:
安全操作:在開啟或關(guān)閉電源時,必須先打開或關(guān)閉控制面板上的電源開關(guān),避免觸電危險。使用電源時,必須接地,避免因靜電引起的設(shè)備故障。嚴(yán)禁擅自拆卸或改變電路連接方式,避免因電路短路引起火災(zāi)等事故。
設(shè)備準(zhǔn)備:在操作前,確保磁控濺射器已經(jīng)正確安裝和配置。例如,靶材不得有嚴(yán)重?fù)p壞和缺陷,否則容易引起爆炸事故。
濺射過程:單次濺射時間請勿超過120s,若需濺射厚電極膜,可多次濺射。濺射時,請確保離子濺射儀的工作電流穩(wěn)定,再開始濺射。若要單次長時間濺射,需要配置水冷機進行冷卻。
樣品處理:禁止使用未干燥的樣品及未黏附的粉末樣品。在拿起上蓋放樣品時,請將上蓋以原始方向放置于濺射池側(cè)邊。
防護措施:操作前需要穿戴好防護用具,如手套、眼鏡、防護服等。禁止用手碰觸靶材,也防止臟東西及樣品粘附至靶材上,影響使用。
清潔與維護:在生產(chǎn)過程中及操作后,及時清理設(shè)備產(chǎn)生的塵粒和污物,以確保設(shè)備的正常運行。在更換靶材時,需要先切斷電源并等待設(shè)備完全冷卻后再進行操作。
故障處理:在設(shè)備故障時,應(yīng)當(dāng)及時切斷電源,并通知專業(yè)人士進行檢修。
此外,還有一些特定于單極性脈沖磁控濺射電源的注意事項:
電源參數(shù):根據(jù)具體的鍍膜需求和設(shè)備要求,調(diào)整電源的輸出電壓、電流、頻率等參數(shù),確保其在合適的范圍內(nèi)。
冷卻系統(tǒng):確保電源的冷卻系統(tǒng)正常運行,避免過熱導(dǎo)致設(shè)備損壞或性能下降。
磁場控制:對于磁控濺射電源,磁場控制是非常重要的。確保磁場強度、方向等參數(shù)符合工藝要求,以獲得理想的濺射效果。
總之,在使用單極性脈沖磁控濺射電源時,需要遵循相關(guān)的安全操作規(guī)程和設(shè)備要求,確保設(shè)備的正常運行和鍍膜質(zhì)量。
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